石英（ガラス）やシリコンの平面基盤上に屈折率の高い導波路を形成し，スプリッタあるいはアレイ導波路回折格子（AWG）などの光回路を形成したもの。光ファイバ製造技術とLSIの微細加工技術を融合して製作できるので，高密度に基板上に集積できるので光デバイスの超小型化が実現できる。