SiNよりヤング率が約３倍大きく剛性の大きい材料。SiN同様LP-CVD法で形成できるので多数枚一括処理ができ量産化が可能。また放射線によるダメージも非常に小さいことが確認されている。可視光透過率は50～70％でSiNよりやや低いが，アライメントに影響するほどではない。また現在SiCよりさらに剛性の大きいダイヤモンドメンブレンについても検討中。

◆ 《ヤング率》

固体に力が加わったときに発生する歪みの大きさを表す物質固有の係数。ヤング率が大きいほど固体中に発生する歪みが小さい。

◆ 《LP-CVD（Low Pressure-Chemical Vapor Deposition）法》

ガスを低圧（LP）の反応室内で熱分解し，基板表面での化学反応により薄膜を堆積させる化学気相成長（CVD）法。

◆ 《ダイヤモンド》

高剛性である以外にX線透過率が大きい，可視光透過率が大きい等，メンブレンとして優れた特性を有する材料。