膜厚が１μｍ以下の半導体薄膜でトランジスタを構成する技術。半導体薄膜としては通常非晶質シリコンや多結晶シリコンが用いられ，これらは通常の結晶半導体に比べ，低温でかつ大画面基板上に形成できる特徴があるため，液晶ディスプレイなどの大面積デバイスに応用される。液晶ディスプレイのアクティブマトリクス駆動方式ではアクティブ素子としてTFTを使うと，視野角が大きく高速な表示が可能で残像もない。