導波路型の構造を有するフォトダイオードで，光吸収層のコアを光を閉じ込める層（クラッド層）でサンドイッチ状に挟んだ構造をしている。

図は，ハイブリッド光集積に適した例である。導波路型フォトダイオードは，二重コア構造により光導波路や光ファイバ等と90％以上の高い光結合効率が実現できる。

横からの入射光は，導波路を伝搬していくうちに光吸収層で徐々に吸収され，吸収に伴って発生したフォトキャリアを上下方向に走行させ電気信号に変換する。横からの入射光に対する光の吸収方向と光の吸収により発生したフォトキャリアの走行方向が直交しているため，光の吸収による受光効率とフォトキャリアの走行に関係するデバイスの応答速度をほぼ独立に設計することが可能になる。