用語説明

ゲートリセスエッチストッパ層

あらかじめエピタキシャル層中に挿入された,ゲートリセスの際にエッチング液により浸食されない半導体層。このエッチストッパ層の働きにより,トランジスタのしきい値電圧を均一に制御することが可能となる。