真空蒸着と並んで広く用いられる薄膜形成法の一種。LCD製作時に使用される原子・分子等の粒子が大きな運動エネルギーで固体に衝突すると，固体内部の原子が侵入原子の飛び込んできた方向に飛び出す現象をスパッタ現象と呼ぶ。この現象により，固体の近くにおいた基板上に固体の構成原子を堆積させ膜とする方法。