真空中で気体に高電界を印可すると，放電によりプラズマが生じ，気体はイオン化される。イオン化された気体を電界により加速し，物体（ターゲット）に衝突させると，物体（ターゲット）の原子・分子が弾き出される。弾き出された原子・分子を堆積させ薄膜を作製する方法をスパッタ蒸着という。