用語説明

ナノエレクトロニクス

マイクロエレクトロニクスに対して使用され,マイクロ(μ)は10-6単位に対して,ナノ(n)は10-9単位を中心に扱うエレクトロニクス。SOR露光,分子デバイスの分野が含まれる。