電子回路や光導波路の精密図形（パターン）を写真技術を応用して平面基板上に形成する技術。感光性樹脂を塗布した基板にパターンを描いたフォトマスクを近接させ，紫外線を照射（露光）してパターンを基板に転写し，エッチングにより基板表面を加工する。