プレーナ光波回路(PLC)技術
Planar Lightwave Circuit
光ファイバ製造技術とLSI製造技術の組合せにより,シリコン基板上に光の通路(光導波路)を自在に形成する技術。
光ファイバの製造に使うのと同じ原料ガスを用いてシリコン基板上に極めて透明度の高いガラス膜を形成し,このガラス膜をLSI加工技術により高精度に加工し,光ファイバと同程度のコア寸法を持つ光導波路パターンとするものである。パターン形状を様々に工夫し,光信号の波としての性質を巧みに引き出すことにより,光分岐,フィルタ,スイッチ等のPLC機能を実現することができる。
◆ 《PLCハイブリッド光集積技術》
PLCの得意とする光の分岐や合流,干渉等を利用した受動機能デバイスに,発光・受光や光増幅等の能動デバイスをハイブリッド集積したもの。