結晶成長の中心技術。固体原料を加熱して，原子や分子，またはそれらの複合体として蒸発させる。蒸発した原料をビーム状にして高真空中に取り出し，基板に当てる。加熱した基板上で原子の再配列を起こし，結晶成長する方法。