用語説明

リアクティブイオンエッチング

反応性のガス(ふっ素,塩素等のハロゲンを含むガスや酸素ガス等)のガス放電プラズマと被エッチング物へのイオン衝撃を併用し,微細な加工を気相中で行うエッチング方法。