記号
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リフトオフ法
パターン形成法の一種であって,所望のパターンからなるフォトレジストパターンを形成しておき,この上に真空蒸着法やスパッタ法で膜を形成した後,フォトレジストを除去して所望のパターンを形成する方法。
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