微細加工技術を用いて作製した機械的機能を持つ素子のこと。日本では従来から「マイクロマシン」の名前で知られている。

具体的な応用例として，乗用車のエアバックシステムに用いられる加速度センサや，PC用軽量プロジェクタに用いられているDVD（Digital Micromirror Device）技術等が有名。