半導体集積回路を作製するフォトリソグラフィ等の技術を用いてセンサやアクチュエータを超小型化し，同時に駆動回路，信号・情報処理回路，通信インタフェース等も同じプロセスでワンチップ化することにより大量生産を可能とした小型化・経済化・高信頼化を同時に満足させるシステム。

◆ 《アクチュエータ》

ある対象物への操作量を変位，速度，力等の実際の物理量に変換する能動的なデバイスのこと。モータや電磁バルブ等がその典型。