RFPD(端面入射屈折型フォトダイオード)
Refrecting Facet Photo Diode
NTTが開発した横方向からの入射光に対し,光軸ずれ許容度の大きな端面入射屈折型フォトダイオード。
側方に逆メサ構造の光入射端面を有しており,横方向からの入射光が入射端面で屈折し,上層の光吸収層で吸収され,電気信号に変換される。このデバイスでは,光軸の上下方向のずれが発生しても図から分かるように,受光する領域長を必要に応じて長く設計することにより,光軸ずれ許容度をWGPD(Wave Guide Photo Diode)に比べて数倍以上に大きくすることが容易にできる。また光軸の左右方向のずれに対しては,受光領域の幅を広くすることで容易に対応可能である。