オプトエレクトロニクスとは，オプティクス（Optics；光学）とエレクトロニクス（電子）を組み合わせた複合先端技術で，光通信，光計測などがその例である。また，ナノエレクトロニクスは，マイクロエレクトロニクスに対して使用され，マイクロ（μ）が10^-6単位に対して，ナノ（n）は，10^-9単位を中心に扱うエレクトロニクスである。SOR露光，分子デバイスの分野が含まれる。